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单项选择题
RF电源放电时由于电位差总是变化所以会导致（）。
A.电压流动
B.电流流动
C.功率变化
D.其余都有 -
单项选择题
Si在溶解过程中通过什么可以避免坩埚的影响？（）
A.吹气
B.振动
C.对流
D.在强大的磁场环境下对流 -
单项选择题
下列哪项可能是PVD设备氩气的设定通入量？（）
A.100Pa·m3
B.100Pa·m3/s
C.100L/s
D.100sccm
