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单项选择题
化学机械抛光的英文简称是（）
A.PCM
B.PCN
C.CMP
D.CNP -
单项选择题
评价金刚石刀具超精密切削加工水平的标志是（）
A.所能切削金属层的厚度
B.所切削的工件材料属性
C.所能切削金属层的宽度
D.所能切削金属层的表面质量 -
单项选择题
EUV可用于纳米加工，其波长范围为（）
A.20~30nm
B.20~30mm
C.40~50nm
D.40~50mm
