多项选择题
离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.三氟化硼 D.硅烷 E.氧气
多项选择题 半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
单项选择题 硅烷的分子式是（）。
多项选择题 去正胶常用的溶剂有（）
