单项选择题
提高刻蚀均匀性的关键在于（）。
A.优化气体分布B.稳定温度和压力C.改进掩膜设计D.以上都是
单项选择题 刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。
单项选择题 刻蚀机的操作培训重点在于（）。
单项选择题 以下哪种不是提高刻蚀机生产效率的方法（）？
