填空题 在玻璃衬底上制备透明导电膜的方法有：（）、涂覆法、浸渍法、化学气相沉淀法、真空蒸发法、溅射法等。

填空题 根据引起气体放电的机理不同，可形成不同的溅射镀膜方法，主要有（）溅射、（）溅射、反应溅射、磁控溅射等方法。

问答题 简述功能薄膜材料的概念。