单项选择题 还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。

单项选择题 还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。

单项选择题 停炉时，氢含量低于（）时，方可将温度降低到700℃。