多项选择题
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.四氟化硅 D.三氟化磷 E.五氟化磷
单项选择题 离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
单项选择题 早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
单项选择题 （）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。
