单项选择题
()的气体源中一般包含H+,C+,B+,Cl+,O+等离子。
A.Cl2 B.BCl3 C.CO2 D.H2
单项选择题 离子源产生的离子在()的加速电场作用下得到加速。
单项选择题 Torr是指()的单位。
单项选择题 激光退火目前有()激光退火两种。