问答题
以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
在多晶硅薄膜中进行杂质扩散的扩散方式与单晶硅中的方式是不同的，因为多晶硅中有晶粒间界存在，所以杂质原子主要沿着晶粒间界进......
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问答题 写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。
问答题 杂质原子的扩散方式有哪几种？它们各自发生的条件是什么？从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
问答题 集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺？各有什么优缺点？
