单项选择题 （）就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面，使其中离子注入层在极短的时间内达到高温，消除损伤。

单项选择题 目前，最广泛使用的退火方式是（）。

单项选择题 损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。