单项选择题 下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

单项选择题 He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。

单项选择题 如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。