问答题
常用溅射技术有哪几种，简述它们的工作原理和特点。
直流溅射——惰性气体，如氩，送入低压下的溅射腔体，电压加在电极上产生等离子体。加负直流电压的的是......
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问答题 什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。
问答题 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？
问答题 物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
