问答题
物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
物理气相淀积：蒸发Evaporation、溅射Sputtering热蒸发法：在真空条件下，加热蒸发源，使原子或分子从蒸发......
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问答题 对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的？
问答题 简述RTP在集成电路制造中的常见应用。
问答题 简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？
