单项选择题
在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。
A.电子振荡放电 B.离子自动放电 C.低电压弧光放电 D.双等离子电弧放电
多项选择题 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
单项选择题 离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
单项选择题 早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
