问答题
假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
（1）如果这次预淀积进行了总共t分钟，若预淀积温度不变，引入3Qcm-2(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
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问答题 以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
问答题 写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。
问答题 杂质原子的扩散方式有哪几种？它们各自发生的条件是什么？从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
