单项选择题 对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。

单项选择题 扩散工艺现在广泛应用于制作（）。

多项选择题 扩散工艺在现在集成电路工艺中仍然是是一项重要的集成电路工艺，现在主要被用来制作（）。