多项选择题
在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。
A.CA光刻胶对深紫外光吸收小 B.CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化 C.CA光刻胶在显影液中的可溶性强 D.有较高的光敏度 E.有较高的对比度
单项选择题 在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。
单项选择题 在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。
多项选择题 关于正胶和负胶的特点，下列说法正确的是（）。
