单项选择题
在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。
A.化学增强 B.化学减弱 C.厚度增加 D.厚度减少
多项选择题 关于正胶和负胶的特点，下列说法正确的是（）。
多项选择题 关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。
多项选择题 光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。
