问答题
描述净化间的舞厅式布局。
净化间的舞厅式布局为大的制造间具有10000级的级别，层流工作台则提供一个100级的生产环境。
问答题 解释空气质量净化级别。
问答题 例举硅片制造厂房中的7种玷污源。
问答题 什么是硅片的自然氧化层？由自然氧化层引起的三种问题是什么？
