问答题
例举硅片制造厂房中的7种玷污源。
硅片制造厂房中的七中沾污源：（1）空气：净化级别标定了净化间的空气质量级别，它是由净化室空气中的颗粒尺寸和密......
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问答题 什么是硅片的自然氧化层？由自然氧化层引起的三种问题是什么？
问答题 对净化间做一般性描述。
问答题 例举出硅片厂中使用的五种通用气体。
