多项选择题
晶圆减薄后,晶圆可能出现的质量问题有()。
A.厚度不均匀B.厚度未达到要求C.划痕D.裂片
多项选择题 在使用导电胶工艺过程中,由于芯片放置不当会导致()。
单项选择题 下列情况比较可能会导致晶圆减薄过程中碎片的是()。
单项选择题 下图为某减薄机的操作盘(局部)示意图,若需要暂停运行中的减薄机应按()按键。