问答题
气体直流辉光放电分为哪几个区？其中辉光放电区包括哪几个区？溅射区域选择在哪个区？
分为暗流区，汤生放电区，辉光放电区，电弧放电区。辉光放电区分为c-d：前期辉光放电区......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
问答题 离子注入后为什么要退火？
问答题 什么是沟道效应？抑制方法？
