单项选择题 干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。

单项选择题 下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。

单项选择题 二氧化硅薄膜的折射率是表征其（）学性质的重要参数。