多项选择题 按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

单项选择题 电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。

单项选择题 用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。