多项选择题 为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

单项选择题 （）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

单项选择题 （）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。