单项选择题 旋片泵是利用（）的原理，通过吸气﹑压缩﹑排气的不断循环实现抽气目的。

单项选择题 所有溅射镀膜设备使用的电源中（）。

单项选择题 我们把表面硬度Hv>（）GPa的耐磨沉积层叫硬质膜，Hv>40GPa叫超硬膜。