单项选择题 刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。

多项选择题 通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。

单项选择题 （）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。