问答题
什么是负性光刻？正性光刻？
负性光刻：把与掩膜版上图形相反的图形复制到硅片上。正性光刻：把与掩膜版上图形相同的图形复制到硅片上。两种工艺......
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问答题 根据成像结果的不同，光刻胶可分为哪两种类型，其中哪种成本较低且应用较早？
问答题 显影时，正胶和负胶的哪个区发生溶解？而哪个区则不会溶解。
问答题 什么是CVD中的气缺现象？解决气缺现象的措施？
