问答题
解释投射电子能显微镜。
TEM把加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的电子碰撞而电子与样品中的原子的碰撞而改变方向,从而产生立体......
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问答题 硅片关键尺寸测量的主要工具是什么?
问答题 给出半导体质量测量的定义。例出在集成电路制造中12种不同的质量测量。
问答题 什么是外延层?为什么硅片上要使用外延层?