判断题 离子束加工时在真空条件下，将氩、氪、氙灯惰性气体通过离子源产生离子束，经加速、集束、聚焦后，射到被加工表面上以实现各种加工的方法。

判断题 由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

判断题 电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件，又转换成热能来蚀除金属的。