单项选择题 抛光在磨料与研具材料的选择上与研磨不同，抛光通常使用的是（）μm以下的微细磨粒。

单项选择题 纳米级加工的物理实质就是要切断（）间的结合，实现原子或分子的去除。

单项选择题 精密和超精密加工的质量不仅与振动干扰的（）有关，而且与振动干扰的频率有关。