问答题
下图为硅外延生长速度对H2中SiCL4摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。
SiCL4浓度较小，SiCL4被氢还原析出硅原子的速度远小于被释放出来的硅原......
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问答题 影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？
问答题 简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
问答题 简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。
