多项选择题 下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。

单项选择题 半导体硅常用的受主杂质是（）。

单项选择题 化合物半导体砷化镓常用的施主杂质是（）。