多项选择题 超精密机床主轴的驱动方式主要有（）。

多项选择题 洁净室是指将室内空气中（）的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。

多项选择题 精密与超精密加工按加工方法可以分为（）等大类。