多项选择题
超精密机床主轴的驱动方式主要有（）。
A.电动机通过带传动驱动 B.电动机通过柔性联轴器驱动 C.采用内装式同轴电动机驱动 D.采用外装式同轴电动机驱动 E.电动机通过刚性联轴器驱动
多项选择题 洁净室是指将室内空气中（）的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。
多项选择题 精密与超精密加工按加工方法可以分为（）等大类。
多项选择题 超精密加工中超稳定的加工环境条件主要指（）方面的条件。
