单项选择题
()是通过把被蒸物体加热,利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。
A.蒸镀 B.溅射 C.离子注入 D.CVD
单项选择题 ()是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。
单项选择题 物理气相沉积简称()。
多项选择题 薄膜沉积的机构包括那些步骤()。