单项选择题 光图定向法结果直观，操作（），误差（）。

单项选择题 （）是影响硅器件成品率的一个重要因素，也是影响器件性能的稳定性和可靠性的重要因素。

单项选择题 用冷热探笔法测量（）半导体时，冷端带正电，热端带负电。