多项选择题 激光加工设备主要包括电源、（）、冷却系统等部分。

多项选择题 精密研磨、抛光时主要工艺因素有工艺设备、研具、磨粒、加工液、（）。

多项选择题 实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。