单项选择题
下列属于液态源扩散的是（）
A.五氧化二磷 B.硼酸三甲酯 C.氮化硼
单项选择题 硅片表面污染的杂质，原子型杂质可分为（）
单项选择题 硅片表面污染的杂质，离子型杂质可分为（）
单项选择题 硅片表面污染的杂质，分子型杂质可分为（）
