填空题 超精密切削时积屑瘤对切削过程的影响：积屑瘤高时（），积屑瘤小时（）。

填空题 床身和导轨的材料主要有（）、（）、（）三种。

填空题 超精密切削实际能达到的最小切削厚度与金刚石刀具的（）、使用的超精密机床的（）、切削时的（）等都直接有关。