问答题 在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？

问答题 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

问答题 在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。