问答题
采用无定形掩膜的情况下进行注入，若掩蔽膜/衬底界面的杂质浓度减少至峰值浓度的1/10000，掩蔽膜的厚度应为多少？用注入杂质分布的射程和标准偏差写出表达式。
无定形靶内的纵向浓度分布可用高斯函数表示：其中，Rp为投影射程，ΔRp为投影射程的标准偏差，&p......
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问答题 离子在靶内运动时，损失能量可分核阻滞和电子阻滞，解释什么是核阻滞、电子阻滞？两种阻滞本领与注入离子能量具有何关系？
问答题 下图为一个典型的离子注入系统。（1）给出1~6数字标识部分的名称，简述其作用。（2）阐述部件2的工作原理。
问答题 Si-SiO2界面电荷有哪几种？简述其来源及处理办法。
