单项选择题
在半导体器件制造中，对清洗用水的纯度有比较高的要求，要用经过纯化的（）作为清洁用水。
A.蒸馏水 B.自来水 C.去离子水 D.矿泉水
单项选择题 铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。
单项选择题 在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。
单项选择题 在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。
