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单项选择题
还原硅气相成长的硅纯度可以达到多少？（）
A.9N
B.10N
C.11N
D.12N -
单项选择题
离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度？（）
A.通过控制注入速度（能量）
B.通过控制注入电压
C.通过控制注入电流
D.通过控制注入电阻 -
单项选择题
ULVAC的检漏仪用什么气体检漏？（）
A.氦氧
B.氩氧
C.氦氢
D.氩氢
