问答题
论述题
简述BOE（或BHF）刻蚀SiO2的原理。
【参考答案】
二氧化硅腐蚀最常见的湿法腐蚀工艺之一是在稀释的HF溶剂中进行的SiO2湿法腐蚀法。常用腐蚀液配比是......
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