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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 半导体芯片制造工 > 半导体制造技术

问答题

论述题

简述几种典型真空泵的工作原理。

    【参考答案】

    几种典型的真空泵结构:①活塞式机械泵;②旋片式机械泵;③增压器——罗茨泵;④油扩散泵;⑤涡轮分子......

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