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单项选择题
检漏仪吸枪校正时采用通道类型的标准漏孔所供给的氦压力是()。
A.0.2MPa
B.0.1MPa
C.1MPa
D.2MPa -
单项选择题
以下哪个仪器中,不包含离子源收集功能?()
A.Heliot901
B.SH-2
C.SW1
D.CGM-051 -
单项选择题
离子注入机通过什么方式将杂质注入SiWafer?()
A.高压加速杂质离子
B.大电流加速杂质离子
C.大电阻加速杂质离子
D.其余都对