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单项选择题
以下哪个仪器中，不包含离子源收集功能？（）
A.Heliot901
B.SH-2
C.SW1
D.CGM-051 -
单项选择题
离子注入机通过什么方式将杂质注入SiWafer？（）
A.高压加速杂质离子
B.大电流加速杂质离子
C.大电阻加速杂质离子
D.其余都对 -
单项选择题
对于回转翼型真空泵，描述正确的是哪个？（）
A.转子中心与腔体中心在偏心位置
B.转子中心与回转中心在偏心位置
C.转子中心和腔体中心在同一位置
