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单项选择题
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工 -
单项选择题
工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。
a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人 -
单项选择题
硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；
