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单项选择题
工业机器人有多种分类方式,下列不属于按驱动方式分类的是()。
a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人 -
单项选择题
硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于()。
a.体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工;
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工;
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构; -
单项选择题
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()。
A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术
